它利用高能量聚焦脈沖激光光束激發(fā)樣品表面，對產(chǎn)生的原子光譜進行分析得到對應元素成分及含量。是一種快速、定性定量的分析手段。隨著激光器以及光譜儀小型化技術(shù)的發(fā)展，輕便的手持LIBS光譜儀成為現(xiàn)實。基于激光誘導擊穿光譜（LIBS）技術(shù)，廣泛用于地質(zhì)、環(huán)境、制藥、陶瓷、耐火材料、水泥、煤炭、無機化工、冶金等行業(yè)領域，是物質(zhì)元素成分分析的歷史性變革。

　　激光誘導擊穿光譜分析儀的優(yōu)點有：可以在線測量，無需制作樣品或者預處理，測量無損，兼具快速、多元素同時測量、高靈敏度等優(yōu)點。它在定性測量方面優(yōu)勢明顯，快速且準確度高，但是定量測量相對較為薄弱。

　　

　　該技術(shù)通過超短脈沖激光聚焦樣品表面形成等離子體，進而對等離子體發(fā)射光譜進行分析以確定樣品的物質(zhì)成分及含量。超短脈沖激光聚焦后能量密度較高，可以將任何物態(tài)（固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)）的樣品激發(fā)形成等離子體，LIBS技術(shù)（原則上）可以分析任何物態(tài)的樣品，僅受到激光的功率以及攝譜儀＆檢測器的靈敏度和波長范圍的限制。再者，幾乎所有的元素被激發(fā)形成等離子體后都會發(fā)出特征譜線，因此，LIBS可以分析大多數(shù)的元素。如果要分析的材料的成分是已知的，LIBS可用于評估每個構(gòu)成元素的相對豐度，或監(jiān)測雜質(zhì)的存在。